Полная и частичная модернизация промышленного оборудования помогает снизить затраты и повысить эффективность производства, увеличивая мощности и расширяя возможности производства. При модернизации используются современные вычислительные средства, промышленные контроллеры, приводы, датчики, различные регуляторы и низковольтная аппаратура от ведущих мировых производителей. Группа компаний ЭСТО проводит модернизацию следующего оборудования:

• вакуумные установки
• зарубежное оборудование
• электротермическое оборудование
• сборочное оборудование

• Разработка и производство специального технологического оборудования (вакуумное, сборочное, напылительное) и внедрение технологий.
• Комплексная и частичная модернизация российского и зарубежного нестандартного технологического оборудования.
• Организация поставок как отдельных единиц зарубежного технологического оборудования специального назначения (измерительное, вакуумное, оборудование для процессов фотолитографии и другое), так и комплексных законченных технологий «под ключ».
• Обслуживание российского и зарубежного технологического оборудования.
• Обучение специалистов заказчика.
• Технологический аудит производства.
• Проектирование и строительство производств микроэлектроники.
• Модернизация российского оборудования дополнительно включает в себя замену блоков управления загрузкой (БУЗ), блоков управления нагревом, контроля температуры, плат дискретного выхода, регуляторов расхода газа, замену электропневмоклапанов и т.д.

• «Изотрон 3-150» установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм
• «Изотрон 4-150» установка осаждения слоев поликристаллического кремния и нитрида кремния на пластинах диаметром 150 мм
• «Оксид-3» установка для сухого или пирогенного окисления пластин диаметром 150 мм
• «Октава» установка для сухого или пирогенного окисления пластин диаметром 100 мм
• Серия «СД.ОМ-3/100»для различных процессов термодиффузии на пластинах диаметром 100 мм
• «Изоплаз-150» для осаждения диэлектрических слоев на пластины диаметром 150 мм
• УВН74, УВН71-П3 установки вакуумного напыления
• «Магнетрон», «Оратория-29», «Оратория 2М» («Магна») установки магнетронного напыления

Чтобы обеспечить работоспособность оборудования проводится своевременное обслуживание и ремонт. Мониторинг состояния помогает избежать непредвиденных поломок и обеспечить нормальное протекание технологических процессов.

Диффузионная печь

Диффузионная печь используется для обработки кремниевых и полупроводниковых пластин. Она выполняет сплавление, диффузию, влажное и термическое сухое окисление, отжиг, разгонку и загонку легирующих компонентов. Модернизация позволяет задать обработку пластин определенным методом.

Чаще всего в качестве первого этапа создания полупроводников устройств выступает термическое окисление внешней поверхности. Его называют сухим, когда процесс осуществляется в кислородной среде. При наличии атмосферы с водой в парообразном состоянии операция считается жидкостной. В итоге можно создать пленочное покрытие из диоксида кремния, предназначенное для защиты от воздействия агрессивных химических веществ. Диффузия считается самым эффективным способом получения в полупроводниках переходов. В данном случае заготовка проходит воздействие под высокими температурными показателями внутри оборудования. В процессе используются особые добавки, пребывающие в виде пара, поэтому на поверхности формируются области проводимости.